中国科学院上海微系统与信息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，是我国著名的技术学科综合性研究所之一。其前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，新中国成立后隶属于中国科学院，曾命名为中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所。1958年、1959年本所先后分出组建了长沙矿冶研究院、昆明贵金属所、中国科学院上海硅酸盐研究所，又先后更名为中国科学院冶金研究所、中国科学院上海冶金研究所。2001年8月，根据研究所近年来科研领域的变迁和科技发展战略目标的调整，经中国科学院和国家有关部门批准将所名更改为中国科学院上海微系统与信息技术研究所(以下简称上海微系统所)。
上海微系统所自新中国成立以来已获得国家级奖励50余项、部委省市级奖励330余项。本所于50年代在国内率先研制成功球墨铸铁，并成功解决了包头高含氟铁矿的冶炼和稀土元素回收问题；60年代初研制成功用于浓缩铀235的关键部件“甲种分离膜”，该项目负责人吴自良院士作为“两弹一星”功臣之一于1995年受到党中央、国务院和中央军委的表彰。
1998年5月，上海微系统所首批进入中国科学院知识创新工程试点序列，经对科技活动目标进一步凝炼，确定将本所建成一个以集成微系统为核心科技活动方向的、基础技术力量雄厚的、富有持续创新活力的、开放的、国内一流和国际知名的研究所。本所以国家需求为导向，围绕“电子科学与技术”、“信息与通信工程”两大学科方向，利用本所在功能材料与器件研究方面的积累和微电子工艺技术平台为支持，以“无线传感微系统网、微系统技术平台、新一代移动通信技术”几个重大项目为依托，以系统带器件、器件带材料，加强原始创新，加强关键技术创新与集成研究，开展低轨通信小卫星及星座系统、集成微光机电系统、无线信息微系统、半导体微结构材料与器件、太赫兹物理与器件、纳电子材料与器件、SOI材料与器件、新型、高效微能源系统等研究活动。目前全所共有5个研究室：传感技术联合国家重点实验室/微系统技术国家级重点实验室、信息功能材料国家重点实验室、半导体功能薄膜工程研发中心/纳米技术实验室、中科院无线传感网与通信重点实验室、射频与能源科学技术研究室；3个与地方共建的中心：中国科学院上海小卫星工程部、上海无线通信研究中心、中科院嘉兴中心微系统所分中心。上海微系统所拥有硅MEMS加工和封装，化合物半导体材料MBE生长和半导体器件研制，微系统网络设计、测试等技术平台，以及微系统、微结构器件，半导体微结构材料的研究设备和研究能力。
全所现共有职工448名，其中科研技术人员280名，3名中国科学院和中国工程院院士，正副研究员112名。此外，全所共有332名在读研究生，博士后及客座研究人员近50人。全所职工正为把我所办成国际知名、国内一流的科研院所而不懈努力。